常规进行全血细胞学、尿液分析、生物化学、肝肾功能、红细胞沉降率检查，以及结缔组织疾病相关的自身抗体如抗核抗体、类风湿因子检查、抗中性粒细胞胞质抗体检查。根据病情需要还可进行巨细胞病毒或肺孢子菌、肿瘤标记物等检测，这些检查对诊断间质性肺病的病因或伴随疾病具有提示作用。
间质性肺病患者多出现限制性通气功能障碍和气体交换障碍，前者表现为肺总量（TLC）、用力肺活量（FVC）和残气量减少，肺顺应性降低，第一秒用力呼气容积/用力肺活量（FEV1/ FVC）正常或增加，后者表现为一氧化碳弥散量（DLCO）减少，静息时或运动时的肺泡-动脉氧分压差增加以及低氧血症。
主要包括X线胸片、胸部高分辨CT。大多数间质性肺病患者的X线胸片可显示弥漫性浸润性阴影，而胸部HRCT可明确显示肺实质异常的程度和性质，能发现X线胸片不能显示的病变，可见弥漫性结节影、磨玻璃样变、肺泡实变、小叶间隔增厚、胸膜下线、网格影伴囊腔形成或蜂窝状改变，常伴牵拉性支气管扩张或肺结构改变等，对间质性肺病的诊断具有重要意义。
通过纤维支气管镜检查并进行支气管肺泡灌洗或经支气管肺活检，可了解弥漫性肺部渗出性病变的性质，并有助于间质性肺病的鉴别。如果支气管肺泡灌洗细胞学分析显示淋巴细胞、嗜酸性粒细胞、中性粒细胞增加，则各自具有特定的临床意义，有助于临床缩小鉴别诊断的范围。新近发展起来的经支气管冷冻肺活检可以取得较大块的肺组织，能够观察肺脏的结构化，对间质性肺病进行诊断分型，有较好的临床应用前景。
外科肺活检包括开胸肺活检和电视辅助胸腔镜肺活检，以上检查不能明确诊断时，通常需要外科肺活检明确病理改变和确诊。
